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失效分析樣品的制備方法及失效分析樣品

811   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
本發明提供一種失效分析樣品的制備方法及失效分析樣品，制備方法包括如下步驟：提供待分析的堆疊封裝體，堆疊封裝體中設置有多個堆疊的裸片，每一裸片具有設置焊墊的正面及與正面相對的背面，裸片的背面與其相鄰的裸片的正面接觸，所述裸片的焊墊與其相鄰的裸片的焊墊電連接；去除目標裸片背面的其他裸片，至暴露出與所述目標裸片相鄰的裸片的焊墊時停止；將暴露的焊墊電學引出，形成用于失效分析的樣品。本發明優點是，對目標裸片背面進行去除操作，且利用非目標裸片焊墊作為電連接處，從而避免對目標裸片具有電路器件的正面進行去除操作，保護了正面的電路器件，能夠制備出完整無損傷的目標裸片，大大提高了制樣成功率，大大降低了制樣難度。
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失效分析
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