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漩渦式探針、探針測試裝置、探針卡系統及多晶片模塊的失效分析方法

924   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
一種漩渦式探針、探針測試裝置、探針卡系統及多晶片模塊的失效分析方法。漩渦式探針包括一針體、一連接部與一漩渦彈簧。針體的一端具有一針尖。漩渦彈簧連接針體與連接部。漩渦彈簧包含一圈以上的旋繞體，這些旋繞體彼此共平面，且這些旋繞體的軸心與針體的長軸方向正交。故，通過上述架構，漩渦式探針不致于導電接點上橫向滑移，降低滑出導電接點的范圍的機會，以維持探針與導電接點之間的電接品質及測試性能，以及縮小測試變數。
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