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CPI測試結構及基于該結構的失效分析方法

880   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
本發明公開了一種CPI測試結構，包括：基底，其中形成有層間介電層；鈍化層；設置在所述基底表面；頂層金屬層，設置在所述鈍化層下方；層間金屬層，其包括貫穿所述層間介電層的層間互連結構，所述層間互連結構設置有首端和末端，所述首端和末端分別與頂層金屬層電連接；所述層間互連結構還包括多個凸出端部，所述凸出端部延伸至頂層金屬層并與頂層金屬層電連接。本發明可節省失效分析過程中剝掉更多金屬及介電層次所花的時間，提高失效分析效率。本發明還涉及一種基于該CPI測試結構的失效分析方法。
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聲明：
“CPI測試結構及基于該結構的失效分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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