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字線電阻測試方法及三維存儲器失效分析方法

866   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
本申請公開了一種字線電阻測試方法及三維存儲器失效分析方法，其中，所述字線電阻測試方法首先將三維存儲器的第一臺階區和第二臺階區的多根通孔連線暴露出來，然后通過在第一臺階區形成連接金屬層的方式，將多根字線通過通孔連線和連接金屬層連接起來，最后通過在第二臺階區測試每兩根待測連線的電阻，并根據測試獲得的第一測試電阻、第二測試電阻和第三測試電阻計算三個所述待測連線的電阻，也即得到了與這三根待測連線對應的字線電阻，從而實現了對三維存儲器中字線電阻的測量，為對三維存儲器進行失效分析奠定了基礎。
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“字線電阻測試方法及三維存儲器失效分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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失效分析
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