本發明涉及用于原位測量MEMS微梁材料的楊氏模量的方法。提供了一種用于原位測量MEMS微梁材料的楊氏模量的方法,包括:獲取MEMS微梁的結構參數、吸合電壓、第一固有頻率和振型函數;根據結構參數、吸合電壓、第一固有頻率和振型函數,確定間隙距離的第一估計值;獲取施加偏置電壓后MEMS微梁的第二高度和第二固有頻率;根據結構參數、吸合電壓、偏置電壓、第二高度、第二固有頻率、振型函數以及第一估計值,確定間隙距離的第二估計值;根據MEMS微梁的結構參數、振型函數、第二估計值、第二高度以及吸合電壓或第一固有頻率,確定MEMS微梁的楊氏模量。上述方法能夠在微梁厚度未知的情況下測量微梁材料的楊氏模量,實現楊氏模量的高精度無損原位測量。
聲明:
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