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超聲顯微鏡分辨力測試及校準方法

813   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:27
本發明涉及一種超聲顯微鏡分辨力測試及校準方法，適用于超聲無損檢測領域，可用于驗證超聲檢測系統的橫向和縱向缺陷檢測能力，通過對超聲顯微鏡檢測結果進行校準使檢測更為準確。本方法通過激光微納技術在光學玻璃片上表面刻蝕了一系列微米級小孔，超聲顯微成像所能辨別的最少微孔尺寸即為橫向檢測分辨力，通過對標準量塊縱截面進行超聲顯微測量計算像素補償值實現橫向校準。設計玻璃楔塊試樣，利用聲時法進行厚度測量，所能測量的最薄水層厚度值即為縱向檢測分辨力，將測量值與理論計算值進行分析求得線性擬合方程實現縱向校準。該方法操作簡單，易于實現，解決了超聲缺陷檢測能力的客觀評估問題，使超聲顯微鏡的檢測結果更準確可靠。
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