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用于光學元件非球面微結構的同步檢測方法

962   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:16
一種用于光學元件非球面微結構的同步檢測方法，包括從一激光器出射一束激光并且經過一第一光闌后分成兩束，其中一束入射到聚焦鏡上后入射到積分球內的待測物體的表面上，所述積分球上安裝有光電接收設備接收其散射光，并且在該入射到待測物體的光束的反射方向設置反射光接收器，其中反射的一束光經光吸收裝置吸收并且進行光電轉換后進入計算機作為參考光束，利用上述設備測得待測物體的散射輻射Rd，以及反射輻射Rs，然后計算得出基于尖銳壓頭印壓的亞表面裂紋深度SSD和基于微小球形壓頭印壓的裂紋深度SSD’。該方法不但所要求的設備結構簡單、檢測速度快，檢測準確，可以達到納米量級的表面微結構的檢測，成本較低、對表面無損害、測量精度較高。
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