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LED芯片無損檢測裝置

807   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:57:45
本發明公開一種LED芯片無損檢測裝置,LED芯片無損檢測裝置包括電源、導電液出液機構及檢測機構,導電液出液機構包括液體壓力控制器和微流控芯片,液體壓力控制器和電源分別與微流控芯片連接;微流控芯片設有多列用于流通正極導電液的第一導流孔和多列用于流通負極導電液的第二導流孔,液體壓力控制器與一列第一導流孔和一列第二導流孔連通,以控制正極導電液在第一導流孔的流通及負極導電液在第二導流孔的流通;檢測機構包括與微流控芯片間隔設置的支撐架和光學傳感器,支撐架設有凹槽,光學傳感器設于凹槽內,凹槽的槽口放置裝載有多個LED芯片的晶圓。本發明技術方案通過導電液出液機構代替探頭,無需更換探頭,提高LED芯片無損檢測裝置的檢測效率。
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