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高效晶硅異質結太陽能電池的TCO鍍膜工藝方法

954   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:23:04
本發明涉及的一種高效晶硅異質結太陽能電池的TCO鍍膜工藝方法，它包括以下內容：N型硅襯底進行制絨、清洗處理；通過PECVD制備雙面本征非晶硅層；選取N型非晶硅膜為受光面摻雜層，使用等離子體增強化學氣相沉積制備N型非晶硅摻雜層；使用等離子體化學氣相沉積制備P型非晶硅摻雜層；使用RPD方法沉積TCO導電膜，鍍膜時工藝腔內通入固定流量的Ar、H2混合氣體；通過絲網印刷形成正背面Ag電極；固化使得銀柵線與TCO導電膜之間形成良好的歐姆接觸；進行測試電池的電性能。本發明提升載流子遷移率與透光性、降低方租，進而提高電池的電流及填充因子，進而提高電池的電性能。
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聲明：
“高效晶硅異質結太陽能電池的TCO鍍膜工藝方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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