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鑭系金屬摻雜二氧化鈰納米磨粒的制備方法和應用

1227   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:23:04
本發明公開了鑭系金屬摻雜二氧化鈰納米磨粒的制備方法和應用，其中，制備方法包括：(1)測量二氧化鈰納米粉體的吸水率；(2)配制鑭系金屬硝酸鹽溶液，并對所述二氧化鈰納米粉體進行等體積浸漬、陳化、烘干、焙燒和研磨，以便得到所述鑭系金屬摻雜的二氧化鈰納米磨粒。采用該方法不僅可以有效制備得到鑭系金屬元素摻雜的二氧化鈰納米磨粒，而且利用該鑭系金屬元素摻雜的二氧化鈰納米磨粒對介質材料進行化學機械拋光，可以在低磨粒含量下實現較高的材料去除速率和拋光后表面質量，尤其能使介質材料在堿性條件下兼具較高的拋光速率和表面質量，從而實現理想的化學機械拋光效果。
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“鑭系金屬摻雜二氧化鈰納米磨粒的制備方法和應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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