提供一種用來測量液體樣品中粒子的方法和設備。該方法包括將一種液體樣品輸入到一個熱交換器中,從而冷卻樣品至某一預定溫度。將經冷卻的樣品輸送到一個粒子計數器中,對該冷卻樣品進行粒子測量。根據本發明的方法和設備,可有效地抑制存在于待測液體化學制品樣品中的泡沫,因而可用于粒子的精確測量。本發明特別適用于半導體和藥品制造工業。
聲明:
“用來測量液體樣品中粒子的方法和系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)