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硒化銻自驅動薄膜光電探測器及其制備方法

843   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:28:47
本發明公開了一種硒化銻自驅動薄膜光電探測器的制備方法，方法包括步驟：提供鍍鉬玻璃襯底；在鍍鉬玻璃襯底上磁控濺射Sb前驅體膜，對Sb前驅體膜進行硒化處理，得到Sb2Se3薄膜；采用化學水浴法在Sb2Se3薄膜上沉積CdS緩沖層；采用溶液旋涂和熱處理向CdS緩沖層中引入Al3+，得到Al3+摻雜的CdS緩沖層；在Al3+摻雜的CdS緩沖層上磁控濺射沉積ITO窗口層，熱蒸發Ag電極，得到硒化銻自驅動薄膜光電探測器。本發明采用磁控濺射法和硒化處理自組裝生長Sb2Se3薄膜，能明顯降低Sb2Se3薄膜的深能級缺陷密度，減少光生載流子復合；Al3+摻雜能降低界面缺陷密度、增加耗盡層寬度以及優化p?n結界面能帶排列，本發明制得的Sb2Se3自驅動薄膜光電探測器能實現無外加偏壓自驅動工作，響應度和探測度大幅提升。
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“硒化銻自驅動薄膜光電探測器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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