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二維層狀二硫化鉬薄膜的光探測器及制備方法

1017   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:27:47
本發明公開了一種二維層狀二硫化鉬薄膜的光探測器及制備工藝，光探測器包括從上之下依次排列的電極結構、多個層狀二硫化鉬薄膜以及襯底；電極結構為電極、主支、分支三部分，相鄰主支之間和相鄰分支之間的間距為二硫化鉬薄膜的平均大小，起到并聯二硫化鉬薄膜、增大光敏面積的作用。二硫化鉬薄膜的生長采用化學氣相沉積(CVD)的方法，硅片作為襯底，MoO3粉末作為鉬源，硫粉作為硫源，通過控制鉬源與襯底之間的間距、硫蒸氣進入反應的時間和反應溫度，制備得到大面積的層狀二硫化鉬薄膜。使用該方法制備層狀二硫化鉬薄膜，對設備要求低，實驗過程簡單方便、重復性高。
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“二維層狀二硫化鉬薄膜的光探測器及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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