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碲鋅鎘像素探測器電極的鈍化方法

719   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 07:25:57
本發明公開了一種碲鋅鎘像素探測器電極的鈍化方法,用于對碲鋅鎘像素探測器電極進行鈍化,降低漏電流。所述方法首先采用CdZnTe晶體,進行線切割,研磨、機械拋光、清洗后在2%Br-MeOH中化學拋光,得到待用的CdZnTe晶片。然后將經機械拋光和化學拋光的CdZnTe晶片通過清洗、涂膠、烘干、曝光、顯影、真空蒸鍍電極和剝離等工藝,制備出像素探測器電極;然后放入RIE-3型反應離子刻蝕機中抽真空,真空度為0.3333~0.3999Pa;調節氧氣流量為70~80cm3/min;調節工作氣壓為0.5~1.0Pa;調節射頻功率為8~12W;刻蝕時間為35~50min。通過上述步驟CdZnTe像素探測器電極間的CdZnTe表面生成致密氧化物薄膜,漏電流減小了一個數量級,達到了鈍化目的。?
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