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基于無線傳輸的化學機械拋光界面溫度檢測控制系統

1189   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:38:39
本發明公開了一種基于無線傳輸的化學機械拋光界面溫度檢測控制系統。本發明的技術方案要點為：基于無線傳輸的化學機械拋光界面溫度檢測控制系統，采用熱電偶溫度傳感器對化學機械拋光過程中基片的溫度進行監測，采用目前主流的ARMSTM32F103系列微處理器進行處理，并通過NRF905和GSM無線模塊將溫度數據傳送至計算機以及手機進而實現對溫度的顯示和調控。本發明采用的GSM無線收發模塊和微處理器均可持續、穩定24小時不間斷長年可靠地運行，采用STM32F103系列微處理器，控制精度高，反應速度快，控制較靈活。
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“基于無線傳輸的化學機械拋光界面溫度檢測控制系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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