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一種銅/鉬蝕刻液組合物及其應用

1011   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:12:43
本發明提供了一種蝕刻液組合物，包括如下重量分數的各組分：過氧化氫5～30％，過氧化氫穩定劑0.1～5％，蝕刻抑制劑0.001～0.2％，蝕刻添加劑5～20％，pH調節劑0.1～5％，蝕刻形狀控制劑2～15％，以及余量的去離子水，所述蝕刻形狀控制劑為醇胺類化合物。該蝕刻液組合物不含氟化物，對環境友好，可降低對操作人員的危害，降低廢液處理成本，且蝕刻過程穩定、蝕刻速率適中，能有效避免掏空現象的產生，最終得到形狀良好的金屬布線結構。本發明還提供了該銅/鉬蝕刻液組合物在顯示面板制備中的應用。
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聲明：
“一種銅/鉬蝕刻液組合物及其應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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