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一種用于制備石墨烯的智能型基片濕法腐蝕處理裝置

908   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:12:41
本發明涉及一種用于制備石墨烯的智能型基片濕法腐蝕處理裝置，包括底座、供液機構、清洗盒、密封板、夾持機構、噴頭、移動機構、控制器和排氣機構，移動機構包括第一電機、緩沖塊、第一驅動軸、滑塊、固定桿和擺動組件，排氣機構包括入氣管、處理盒、加料管、加料盒和排氣管，加料盒內設有加料組件，供液機構包括支柱、供液盒、第一水管、第二水管、第三水管和水泵，該用于制備石墨烯的智能型基片濕法腐蝕處理裝置通過移動機構帶動噴頭移動對基片的各處進行沖刷清洗，去除基片表面的雜質，使氣相反應沉積時石墨烯均勻分布在基片表面，不僅如此，通過排氣機構吸收清洗產生的二氧化氮，防止廢氣危害操作人員，進一步提高了設備的實用性。
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“一種用于制備石墨烯的智能型基片濕法腐蝕處理裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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