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適用于半導體制造設備的廢氣處理系統及半導體制造設備

949   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 05:58:46
本實用新型涉及廢氣處理領域，提供一種適用于半導體制造設備的廢氣處理系統及半導體制造設備。適用于半導體制造設備的廢氣處理系統包括若干封閉室，各封閉室內設置有真空泵和廢氣處理裝置；排風管路，流體連通于封閉室；消防管路，流體連通于封閉室。該適用于半導體制造設備的廢氣處理系統能夠節省建筑施工成本，還能夠將廢氣處理裝置產生的熱量以及潛在的廢氣及時排走，能夠火情進行及時的消除。降低了相關技術中半導體制造設備的廢氣處理系統中容易出現的火災、爆炸等危險事宜出現的可能性，提高了半導體制造設備的廢氣處理系統的安全處理能力。
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