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用于多晶硅生產中含二氯二氫硅廢液的回收利用裝置

1026   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 05:58:44
提供一種用于多晶硅生產中含二氯二氫硅廢液的回收利用裝置，包括廢液儲罐、高低沸處理精餾塔、脫輕精餾塔、四氯化硅提純塔、混合器以及反歧化裝置，廢液儲罐通過廢液輸送泵與高低沸處理精餾塔連接，高低沸處理精餾塔塔頂與脫輕精餾塔連接，脫輕精餾塔塔頂通過二氯二氫硅輸送泵與混合器連接，高低沸處理精餾塔塔釜與四氯化硅提純塔連接，四氯化硅提純塔塔頂通過四氯化硅輸送泵與混合器連接，混合器與反歧化裝置連接，反歧化裝置與廢液儲罐連接。本實用新型能夠對多晶硅生產的廢液中的二氯二氫硅循環回收轉化，有效減少由于廢液外排而造成的價值損失，提高了物質的回收利用率，降低廢液處理的危險性，本實用新型能量消耗少，設備數量少，制造成本低。
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“用于多晶硅生產中含二氯二氫硅廢液的回收利用裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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