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用于制備硅片表面氧化鋁膜的裝置

881   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 05:47:59
本實用新型公開了一種能夠避免尾排管爆炸的用于制備硅片表面氧化鋁膜的裝置。該裝置包括設置有爐門的真空沉積室，真空沉積室內設有石墨舟，真空沉積室上設有進氣口與排氣口，進氣口上連接有用于通入制程氣體的導氣管，排氣口上連接有真空泵，真空泵的出口連接有尾排管，通過尾排管上設置尾氣處理裝置，真空沉積室內反應完畢的廢氣在真空泵的作用下，尾氣先經過氣爆室與空氣發生反應，再經過水爆室內與水發生反應，尾氣再進入甲烷燃燒時將生成的甲烷燃燒殆盡后再進入尾排管，進入尾排管的尾氣由于不含有三甲基鋁也就不會發生爆炸，避免了尾排管經常發生爆炸的危險情況發生，其安全性大大提高。適合在太陽能電池硅片加工設備領域推廣應用。
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