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氧化鋅摻雜的鈦酸鉍鈉-鈷酸鉍壓電薄膜及其制備方法

1087   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 05:38:03
本發明涉及氧化鋅摻雜的鈦酸鉍鈉?鈷酸鉍壓電薄膜及其制備方法,可有效克服鉛基薄膜材料在生產、使用及廢棄的過程中個生態環境和人類健康帶來的危害的問題,方法是,按照0.97Bi0.5Na0.5TiO3?0.03BiCoO3+x%wtZnO的化學計量稱取原料Bi2O3、NaCO3、TiO2、Co2O3和ZnO,以乙醇為介質球磨,烘干,700℃預燒3h,再以乙醇為介質球磨,烘干,壓制成坯片,燒結成BNT?BC?ZnO靶材;將BNT?BC?ZnO靶材和(111)Pt/Ti/SiO2/Si(001)基片分別安裝在靶材托和基片托上,調整靶材和基片的距離,抽真空,加熱基片,在背底真空達到10?4?Pa、基片溫度500?700℃后,通入氬氣和氧氣,氣壓0.5?5Pa;調節濺射功率為50?200W,靶材起輝后,開始生長薄膜,薄膜生長結束,原位退火,即成,本發明材料配方簡單,易制備,產品質量好,環保。
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