本發明公開的一種金剛線切割單晶硅廢料在線制造高純工業硅的方法,首先,將金剛石線切割制備硅片過程中產生硅細粉收集到回收槽中,將回收槽中的硅細粉鋸末料加水降溫稀釋后流入壓濾機;其次,將壓濾機中的含硅溶液進行脫水擠壓后,送入造粒機進行造粒,經造粒后送入烘干機布料器,經過烘干后,得到外徑為5mm~10mm,長度為10mm~25mm硅粒;最后,將步驟2得到的硅粒置于真空中頻感應爐中進行熔煉得到高純工業硅。本發明公開的方法,實現了邊切割單晶硅,邊收集硅廢料,邊提純硅廢料,實現了廢物利用,縮短了工藝流程,使單晶硅切片企業的固廢不出廠就可以回收利用,達到循環企業標準,并且產生了高的附加值。
聲明:
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