本實用新型提供一種乙硅烷分析后處理裝置,包括水噴淋頭、單向閥、尾氣管、尾氣處理箱,單向閥設置在尾氣管的中部,尾氣管設置在尾氣處理箱的中部,水噴淋頭設置在尾氣處理箱的上端,尾氣處理箱下端設置有固廢排出管,固廢排出管的末端設置有廢液槽,尾氣處理箱上設置有排液管,排液管連接尾氣處理箱和廢液槽,尾氣處理箱上設置有空氣壓縮機,通過空氣壓縮機向尾氣處理箱內施加壓力。通過水隔絕乙硅烷與空氣,保證尾氣管的管口暢通,排液管始終有水流出,尾氣處理箱內的液面恒定,尾氣管在液面以下的固定位置保證了水對尾氣管的管口的壓力始終相同,且僅有單一固廢生成,且固廢對環境無害,在水中易沉降,經水淋洗、導出易處理。
聲明:
“乙硅烷分析后處理裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)