本實用新型公開了一種噴淋系統,涉及多晶硅生產工藝技術領域,本系統降低了回用噴淋液體的固含量,延長噴淋系統的檢修周期。本實用新型的主要技術方案為:一種噴淋系統,包括:尾氣吸收部和過濾部,尾氣吸收部包括塔本體、排放管、尾氣噴淋部和廢液管,排放管和廢液管連接于塔本體,尾氣噴淋部設置在塔本體的上端,用于向塔本體內噴射液體;過濾部包括過濾器、出料管和回液管,過濾器包括殼體和濾芯,濾芯設置在殼體內,廢液管連接于殼體,用于向過濾器通入混合液,回液管的一端連接于殼體,另一端連接于尾氣噴淋部,用于向尾氣噴淋部輸送液體,出料管連接于殼體,用于導出固體雜質。
聲明:
“噴淋系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)