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多晶硅渣漿無水化處理工藝

1081   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 04:53:17
本發明涉及一種多晶硅渣漿無水化處理工藝，包括以下步驟：⑴來自上游的多晶硅渣漿經固液氣分離，得到液體和氣體A及固體A；液體和氣體A處理后收集得到液體A；⑵固體A經蒸汽加熱攪拌，得到干燥后的固體產物以及以氣體方式存在的四氯化硅和部分三氯氫硅；以氣體方式存在的四氯化硅和部分三氯氫硅經處理后收集得到液體B；⑶干燥后的固體產物經熱解爐加熱，得到固體廢物和氣態形式的高沸物；氣態形式的高沸物經催化裂解得到氣體B和液體C；⑷固體廢物依次通過鎖氣罐、冷卻螺旋、固體料倉排放到包裝和外送單元；⑸液體A、B、C和氣體B經分離后，得到四氯化硅和三氯氫硅產品以及剩余的高沸物和部分固體B。本發明利用效率高，且實現無水化。
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