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半導體化學機械拋光液回收處理裝置

1045   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 04:52:14
本實用新型公開了一種半導體化學機械拋光液回收處理裝置，其通過過濾器過濾鎢拋光廢液泡沫和微米級的大顆粒，于重力分離罐內調整廢液pH值以生成鐵/鎢氫氧化物膠體顆粒，并通過重力分離罐將廢液中鐵/鎢氫氧化物膠體顆粒及剩余固體顆粒濃縮于重力分離罐的底部；而后，再將濃縮有固體顆粒的濃縮液通入固液分離器，在固液分離器中對濃縮液進行潤洗稀釋，以去除鐵/鎢氫氧化物膠體顆粒，稀釋濃縮液中的鐵、鎢離子濃度，并保留分散性好的二氧化硅納米顆粒；最后將稀釋后的廢液通入再生槽進行二次稀釋和pH調整以得到再生拋光液，實現對含鎢拋光廢液的回收處理。
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