本實用新型公開了基于半導體加工的廢氣處理裝置,包括濾箱和連接機構,濾箱的內部設置有濾網,連接機構包括矩形框、卡板和卡槽組成,濾網設置于矩形框的內部,卡板的背面與矩形框的正面固定連接,濾箱的正面開設有卡槽卡板的外壁與卡槽的內壁活動穿插連接,卡板的背面貼設有橡膠墊,卡板的正面設置有定位機構,定位機構包括U型框和定位塊,U型框固定連接于卡板的正面,定位塊的外壁與U型框的內壁活動穿插連接。本實用新型利用矩形框、卡板和卡槽的設置,再通過定位機構的配合,使得卡板穩定的卡在卡槽內,這種方式只需接觸定位機構便可將矩形框取出從而對其內濾網上卡住的固體顆粒進行清理,提高了濾網清理的便捷性。
聲明:
“基于半導體加工的廢氣處理裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)