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硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法

1349   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 04:30:00
本發明公開了一種硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法，包括如下步驟：取硅片切削廢液過濾，酸洗濾餅得到廢料；將廢料加入水中，升溫，攪拌保溫，加浮選溶液，攪拌，靜置，取上層溶液純化干燥得到碳化硅；取下層固體純化干燥得到硅；其中，浮選溶液的原料包括：煤油、十二烷基胺醋酸鹽、十八烯酸鈉、松節油透醇、仲辛醇、磷酸乙二胺、磷酸丙二胺、羧甲基纖維素鈉、乙二酸、質量分數為30?36wt％鹽酸水溶液、水。本發明操作簡單，能耗低，回收得到的碳化硅和硅的純度高。
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聲明：
“硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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