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對硅片切削廢液的回收方法

1000   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 04:29:58
本發明公開了一種對硅片切削廢液的回收方法,包括以下步驟:(1)對硅片切削廢液進行固液分離,在分離后的液相中,首先加入酸反應后,加入氨水調節pH值至7～8,加入活性炭脫色,然后經過濾除雜,濾液進行減壓蒸餾,得到聚乙二醇。(2)對所述切削廢液固液分離所得的固相先進行6～9次水洗,所得水洗液首先調節pH值至4～6后過濾,過濾所得固體物料經減壓干燥得到硅粉。(3)對步驟(2)中水洗后的固相分別經堿洗和酸洗,所述堿洗在溫度為70～80℃時進行,然后經過濾烘干,得到碳化硅微粉。(4)將步驟(2)所得濾液和步驟(3)中所得的洗液和濾液混合后,調節pH值至4～6后過濾,所得濾液作為生產用水循環利用。
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聲明：
“對硅片切削廢液的回收方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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