本發明公開了一種用來清潔含溶解狀態的金屬離子,過氧化氫,和高含量固體粒子,如濃度大于約50毫克/升的微粒狀固體粒子廢水的新型方法和設備。碳吸收柱除去含高含量固體粒子的廢水進料中的過氧化氫?;瘜W沉淀單元從溶液中除去金屬離子。該方法和設備從集成電路微芯片的化學機械拋光(CMP)處理產生的高含量固體粒子的副產物拋光漿中除去金屬離子如銅離子,并生成環保清潔的排放廢水。
聲明:
“從廢水中除去金屬離子” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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