本發明公開了一種去除超高純正硅酸乙酯鋼瓶中固體顆粒的裝置。與現有技術相比,本發明采用雙回路過濾,可同時處理兩個鋼瓶,提高了鋼瓶的處理效率,以反復過濾取代大量高純水清洗,不產生廢液,也無需再對鋼瓶進行除水處理,減少了鋼瓶的處理時間且用量少,裝置結構設計合理,操作簡單,可以嚴格控制金屬雜質含量在可接受范圍之內,同時還可進一步設置有尾氣吸附柱,解決了尾氣排放環境污染的問題。
聲明:
“去除超高純正硅酸乙酯鋼瓶中固體顆粒的裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)