本發明公開了一種有毒有害污染氣體治理深度凈化方法及其裝置,該裝置包括等離子體反應器、氣動乳化塔、生物塔與水循環系統。等離子體反應器的上端出氣口通過氣體管道連接氣動乳化塔的進氣口,氣動乳化塔和生物塔的下方共用循環水箱;氣動乳化塔內含有脫水除霧器;水循環系統是循環水箱的水經過水泵分別通過氣動乳化塔、生物塔后回到循環水箱,循環使用。有毒有害污染氣體進入等離子體反應器中初步分解去除,再進入氣動乳化塔進行氣液混合乳化分離凈化,凈化后的氣體經脫水除霧后排至大氣中,產生的廢水進入生物塔中降解成無害無臭物質,實現水的循環利用。本發明避免了因等離子體反應器產生的強氧化性O3對生物菌活性的影響,無二次污染產生。
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