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利用原子層沉積提高釹鐵硼磁體耐腐蝕性能的方法

804   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 03:35:55
本發明公開了一種提高釹鐵硼磁體耐腐蝕性能的方法,利用原子層沉積技術在釹鐵硼磁體表面形成耐腐蝕納米薄膜-二氧化鈦。其主要步驟為:1)將燒結釹鐵硼磁體待加工表面進行打磨,拋光、清洗和干燥預處理;2)將預處理的燒結釹鐵硼磁體放入原子層沉積設備的固定臺架上,并進行預熱處理;3)在釹鐵硼磁體表面沉積一層三氧化二鋁;4)在釹鐵硼磁體表面沉積一層二氧化鈦。原子層沉積技術的制備過程不產生酸堿等廢水,工藝流程簡單,是一種環境友好的制備方法。
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