本實用新型涉及一種半導體設備的廢料排出裝置,包括防水板(1)、濾渣板(2)、排水板(3)、渣料處理池(4)以及廢水處理池(5),防水板(1)位于半導體設備的底部,所述防水板(1)上開設有一個出水口(6),所述出水口(6)與所述半導體設備的廢料排出口連接,所述濾渣板(2)設置在所述防水板(1)的下部,所述濾渣板(2)的一端與所述渣料處理池(4)連接,所述排水板(3)設置在所述濾渣板(2)的下部,所述廢水處理池(5)位于所述排水板(3)的下部。本實用新型提供的半導體設備的廢料排出裝置持久耐用,不需要定期更換,降低了設備故障率,節約了設備和維護成本。
聲明:
“半導體設備的廢料排出裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)