一種超純水系統的節水系統,由超純水系統、反洗廢水凈化系統、反滲透濃水池和一次純水罐組成。該系統可實現多介質過濾器和活性炭過濾器反洗水回收處理后回用;活性炭過濾器、去陰離子塔、混床反洗再生的末道沖洗水,拋光樹脂塔的初期末道沖洗水,膜脫氣剛上線初期及更換材料后初期沖洗排水,以及在線儀表排水回用至超純水系統;反滲透膜、膜脫氣、超濾膜、供應機臺回水發生水質異常時,將此時異常水回用至超純水系統前段;可以降低純水制備過程中廢水產生率,提高水源的復用率,節約水資源。
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