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處理硅晶板切割廢棄物的方法及裝置

864   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 03:24:15
一種處理硅晶板切割廢棄物的方法及裝置,系由兩階段的連續步驟及利用裝置所組成,整個方法包含第一階段的固液分離步驟,以及第二階段的液液分離步驟;第一階段的固液分離步驟先將廢棄物進行固液分離,固液分離后液體廢棄物再利用一個三階段的連續性的真空蒸餾步驟,包括一個二階段的薄膜蒸發步驟,以及一個一階段的分子蒸餾步驟,將液體廢棄物中所含的廢水、聚乙二醇、以及切削油(廢油)加以精餾、分離、及回收;整個方法不僅可以達到資源回收再利用的目標,且可避免二次污染的產生。
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