公開了處理包含唑類的CMP廢水的方法。該方法包括提供具有第一唑濃度的廢水;將廢水引入到廢水處理系統的入口,該廢水處理系統被構造和布置成產生自由基并且將自由基引入到廢水中;以及激活廢水處理系統,以產生自由基并且將自由基引入到廢水中,所述自由基的量足以降低廢水中的唑濃度并且產生具有小于第一唑濃度的第二唑濃度的經處理的水。公開了通過提供水處理系統來促進包含唑類的CMP廢水的處理的方法,該水處理系統被構造和布置成產生自由基并且將自由基引入到廢水中。
聲明:
“唑類的處理” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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