本實用新型提供了一種切割中單晶硅的應急超聲波清洗裝置,包括控制柜、超聲波發生器和清洗槽,所述的控制柜與超聲波發生器連接用于控制超聲波發生器,所述超聲波發生器設置在清洗槽內部,所述清洗槽內具有單晶硅擱置架,所述單晶硅擱置架底部通過一個導軌與清洗槽連接,所述單晶硅擱置架可以在清洗槽內滑動,所述清洗槽底部設置有排渣孔和排水口。本實用新型大大提高了超聲清洗的效果,同時可以對廢水和廢渣進行單獨排放。解決現有超聲波清洗效果不好,殘渣清除不易的問題。
聲明:
“切割中單晶硅的應急超聲波清洗裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)