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導電布及其制備方法

978   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 02:57:47
本發明公開了一種導電布及其制備方法,制備方法包括以下步驟:S1、在真空室內的鍍覆區安裝鍍層對應的靶材,將胚布置于真空室內;S2、對真空室進行抽真空至本底真空度后充入惰性氣體,將真空室內壓力控制并保持在預定壓力;S3、輸送所述胚布使其經過鍍覆區,開啟多弧電源,通過多弧離子鍍對胚布進行鍍層,形成導電布;其中,多弧離子鍍的工作電壓為18?40V,單靶電流30?100A,基底偏壓為0?100V。本發明的導電布的制備方法,工序簡單,節省人力,減少了制備過程中廢水、廢氣、危險固廢的產生,環保;制得的導電布具有電阻低、鍍層內應力低、延展性好,性能穩定、附著力優良等優點。
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