本發明公開了一種全封閉石英晶片清洗機,旨在提供一種清洗效果好的全封閉石英晶片清洗機。本發明包括機箱,所述機箱中設置有漏水板、廢水回收模塊及三個頂升機構,所述漏水板上設置有藥劑清洗水池、噴洗水池及清水水池,所述廢水回收模塊位于所述漏水板的下方,且與所述藥劑清洗水池、所述噴洗水池及所述清水水池配合,所述頂升機構的下端配合設置有晶片放置籃,三個所述晶片放置籃分別與所述藥劑清洗水池、所述噴洗水池及所述清水水池配合。本發明應用于石英晶片清洗機的技術領域。
聲明:
“全封閉石英晶片清洗機” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)