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基于MEMS方法的激光雷達硅基板刻蝕處理裝置

1010   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 02:48:54
本發明涉及一種雷達領域，尤其涉及一種基于MEMS方法的激光雷達硅基板刻蝕處理裝置。技術問題：提供一種基于MEMS方法的激光雷達硅基板刻蝕處理裝置。本發明的技術方案是：一種基于MEMS方法的激光雷達硅基板刻蝕處理裝置，包括有廢水清理和保護機構、廢渣積聚機構和廢渣處理機構等；廢水清理和保護機構與廢渣積聚機構相連接；廢水清理和保護機構與廢渣處理機構相連接。本發明實現了能夠有效對硅基板進行刻蝕，刻蝕時不會損傷硅基板其它部位，并且能夠有效的將廢液和殘渣進行清理收集，達到保護環境，且使得后期驅動線圈的填入不存在問題，從而提高雷達使用壽命，并且確保了雷達準度的效果。
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“基于MEMS方法的激光雷達硅基板刻蝕處理裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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