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BOE廢液在線再生的方法

913   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 02:39:28
本發明提出了一種BOE廢液在線再生的方法，包括：BOE廢液與氨或堿反應；再經過雙極膜電滲析膜組處理；濃縮并精制為超純氨水；將氫氟酸稀液蒸餾提濃后，與超純濃硫酸混合，得到氟化氫氣體和稀硫酸；稀硫酸用電滲析分離為超純稀硫酸和廢液，再經過加熱濃縮為超純濃硫酸和廢水，超純濃硫酸在本系統回用，廢液和廢水去污水處理站；氟化氫氣體提純，得到超純氫氟酸溶液；與超純氨水按照比例配制為BOE原液，加入表面活性劑后，回到半導體產線。本發明在線再生BOE廢液，真正實現了變廢為寶，循環經濟，綠色環保的價值取向，適合工業化推廣應用。
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