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具有p-n結的ZnO納米復合結構光催化薄膜的制備方法

713   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 02:37:38
本發明屬材料的表面物理化學領域,涉及一種具有光催化性能的ZnO納米復合結構薄膜材料的制備方法?，F有簡單的納米結構薄膜材料光催化效率低、對尺度要求較苛刻。本發明其特征在于,包括以下步驟:用熱氣相沉積方法的常規工藝在基底上沉積一層ZnO薄膜,所通氧氣流量500～3000sccm,并控制ZnO結晶在100納米～2微米的尺度范圍;向沉積室中充入含氮氣體,控制含氮氣體流量在50～500sccm范圍,基底溫度在750℃～1000℃的范圍,生長時間控制在2～30分鐘。本發明制備的具有p-n結的ZnO納米復合結構光催化薄膜進行了測試,紫外光照射60分鐘的光催化效率在78%以上。該納米結構薄膜適用于對廢水和廢氣中的有害物質的光催化處理。
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