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晶圓清洗設備廢水的排放系統及其應用

925   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 01:14:36
本發明涉及工業廢液的分類排放技術領域，具體涉及一種晶圓清洗設備廢水的排放系統及其應用。該系統包括多組提供清洗液的供液管路和與每組的供液管路對應的排放清洗廢液的排放管路，在每條的供液管路上設置有供液氣動開關閥，在每條的排放管上設置有排放氣動開關閥，系統還包括輸出開關信號的控制裝置、由控制裝置控制的供液電磁閥和由控制裝置控制的排放電磁閥，供液電磁閥連接各個的供液氣動開關閥，排放電磁閥連接各個的排放氣動開關閥，系統還包括多條廢液收集槽。通過本發明所提供的系統，可以對廢液的排放進行切換，達到廢液的分類排放效果，降低廢液排放和回收的處理成本，提高回收化學品的品質和回收量，并有利于環保。
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