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半導體工業廢水的處理方法

924   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 00:59:38
本發明涉及一種半導體工業廢水的處理方法,主要用于半導體生產企業在生產過程中產生的廢水的處理和回收利用。其特征在于處理步驟如下:(1)將半導體器件制造中產生的電鍍廢水和研磨廢水進行混合,形成混合廢水;(2)將步驟(1)的混合廢水泵入浸沒式膜過濾裝置過濾;(3)將經過步驟(2)過濾的水泵入納濾膜過濾裝置過濾,經過納濾膜過濾裝置過濾的水即可直接回用。本發明采用上述半導體加工混合廢水經浸沒式膜過濾裝置過濾及納濾膜過濾裝置過濾處理,可回收大于85%的水資源,回收水質穩定,回收水質完全達到和優于國家標準,整個處理過程未添加任何化學藥劑,不會產生有害的污泥,運行費用較低,濃縮后的污泥無毒、無害,易處理。
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