多晶硅還原爐尾氣防護罩、多晶硅還原爐及多晶硅生產(chǎn)系統

本實(shí)用新型屬于多晶硅的生產(chǎn)設備技術(shù)領(lǐng)域，涉及多晶硅還原爐尾氣防護罩、多晶硅還原爐及多晶硅生產(chǎn)系統。本實(shí)用新型的多晶硅還原爐尾氣防護罩，包括圓柱形側壁，所述圓柱形側壁的頂端連接封閉的頂蓋，所述圓柱形側壁的低端連接尾氣出氣口；所述圓柱形側壁上開(kāi)設有多個(gè)周向均布的排氣通孔；所述防護罩為碳－碳復合材料防護罩。本實(shí)用新型能夠有效防止硅塊進(jìn)入尾氣管線(xiàn)，避免尾氣管線(xiàn)堵塞，又能保證還原爐尾氣的正常流通，大大減小清理尾氣管線(xiàn)的工作量。