雙行程混合驅動(dòng)微納米壓痕/劃痕測試裝置

本實(shí)用新型涉及一種雙行程混合驅動(dòng)微納米壓痕/劃痕測試裝置，屬于精密傳感器及精密儀器技術(shù)領(lǐng)域。由混合驅動(dòng)單元、載荷檢測與量程切換單元、位移檢測單元、樣品移動(dòng)單元、基座、支撐板和導軌滑塊組件組成。本實(shí)用新型利用音圈電機、壓電疊堆?柔性鉸鏈實(shí)現混合驅動(dòng)，通過(guò)調整屏蔽罩（架）與力傳感器裝配關(guān)系，采用分段載荷檢測與量程切換方式，結合位移檢測單元可實(shí)現不同加載行程和壓入載荷的精確測量，并集成樣品移動(dòng)單元用于實(shí)現對樣品的壓入位置更換以及劃痕測試。采用模塊化設計思路，結構緊湊，安全可靠，既可實(shí)現對塊狀金屬材料、薄膜材料及復合材料等常規納米壓痕/劃痕測試，又可對生物組織等軟材料進(jìn)行大行程加載測試，實(shí)用性更強。