鉬鈦合金靶材的銑削加工方法

權利要求 1.鉬鈦合金靶材的銑削加工方法，其特征在于，所述銑削加工方法包括： 采用銑削刀具對鉬鈦合金靶材的待加工面進(jìn)行銑削處理；所述銑削處理過(guò)程中使用的切削液的折光讀數為12-15； 所述銑削刀具的型號為R245-18T6M-PM1010。2.根據權利要求1所述的銑削加工方法，其特征在于，所述銑削刀具的前角為12-15°。 3.根據權利要求1或2所述的銑削加工方法，其特征在于，所述銑削刀具的表面涂覆有TiAlN涂層。 4.根據權利要求1-3任一項所述的銑削加工方法，其特征在于，所述銑削處理的切削速度為138-142m/min。 5.根據權利要求1-4任一項所述的銑削加工方法，其特征在于，所述銑削處理的進(jìn)給量為150-300mm/min。 6.根據權利要求1-5任一項所述的銑削加工方法，其特征在于，所述銑削處理的吃刀量為0.2-0.3mm。 7.根據權利要求1-6任一項所述的銑削加工方法，其特征在于，所述鉬鈦合金靶材的硬度為380-400HV。 8.根據權利要求1-7任一項所述的銑削加工方法，其特征在于，所述切削液包括油基切削液和/或水基切削液。 9.根據權利要求8所述的銑削加工方法，其特征在于，所述油基切削液包括動(dòng)物油、植物油或礦物油中的任意一種或至少兩種的組合； 優(yōu)選地，所述水基切削液包括乳化液和/或合成液。 10.根據權利要求1-9任一項所述的銑削加工方法，其特征在于，所述銑削加工方法包括： 采用銑削刀具對鉬鈦合金靶材的待加工面進(jìn)行銑削處理；所述銑削處理過(guò)程中使用的切削液的折光讀數為12-15；所述切削液包括油基切削液和/或水基切削液； 所述銑削刀具的型號為R245-18T6M-PM1010；所述銑削刀具的前角為12-15°；所述銑削刀具的表面涂覆有TiAlN涂層； 所述銑削處理的切削速度為138-142m/min，進(jìn)給量為150-300mm/min，吃刀量為0.2-0.3mm； 所述鉬鈦合金靶材的硬度為380-400HV。 說(shuō)明書(shū) 鉬鈦合金靶材的銑削加工方法 技術(shù)領(lǐng)域 本發(fā)明屬于磁控濺射技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種靶材的銑削加工方法，具體涉及一種鉬鈦合金靶材的銑削加工方法。