本申請提供一種晶體生長(cháng)裝置,涉及功能材料領(lǐng)域,包括爐體、籽晶桿、坩堝單元和加熱單元,坩堝單元與加熱單元均設于爐體內,加熱單元用于調節爐體內溫度;坩堝單元包括保溫罩、金屬坩堝、內層耐高溫坩堝、外層耐高溫坩堝和墊塊,金屬坩堝嵌設于內層耐高溫坩堝內,內層耐高溫坩堝嵌設于外層耐高溫坩堝內,墊塊支撐于內層耐高溫坩堝和外層耐高溫坩堝之間;保溫罩同時(shí)罩設于金屬坩堝、內層耐高溫坩堝、外層耐高溫坩堝的開(kāi)口側;保溫罩設有提拉孔,籽晶桿穿設于提拉孔內且與提拉孔活動(dòng)配合。運行時(shí),該結構能夠減小晶體生長(cháng)過(guò)程中坩堝的形變量,坩堝不易被損壞,使用壽命長(cháng),成本低。
聲明:
“晶體生長(cháng)裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)