多層布線(xiàn)基板及其制造方法,電子器件及電子機器

本發(fā)明提供一種多層布線(xiàn)基板的制造方法,用于制造具有至少2層的布線(xiàn)層(布線(xiàn)圖形)(17、31)、在該布線(xiàn)層間設置的聚酰亞胺(層間絕緣膜)(22)及使布線(xiàn)圖形(17)與布線(xiàn)圖形(31)之間構成導通的層間導通柱(導體柱)(18)的多層布線(xiàn)基板。在層間導通柱(18)的周?chē)砸旱螄姵龇绞皆O置聚酰亞胺(22)。從而能夠通過(guò)比較精簡(jiǎn)的制造工序,制造出能夠形成精密的多層布線(xiàn)的多層布線(xiàn)基板、電子器件以及電子機器。